超純水設備


產品介紹
超純水設備
一、超純水設備的定義與標準
超純水(Ultrapure Water, UPW)是指電阻率≥18.2 MΩ·cm(25℃)、總有機碳(TOC)≤5 ppb、顆粒物≤1個/mL的高純度水,幾乎不含任何離子、微生物和有機物。
二、核心工藝與設備組成
預處理系統:
多介質過濾器:去除懸浮物、膠體。
活性炭過濾器:吸附余氯、有機物。
軟化器:去除鈣鎂離子(防結垢)。
反滲透(RO)系統:
脫除97%-99%的離子和有機物,產水電導率≤10 μS/cm。
電去離子(EDI)系統:
通過離子交換膜和電場作用,進一步純化至電阻率≥15 MΩ·cm。
后處理系統:
紫外殺菌(UV):滅活微生物。
超濾(UF):去除熱原、納米級顆粒。
拋光混床:終級純化,達到18.2 MΩ·cm。
三、關鍵性能參數
參數 典型值/說明
產水電阻率 ≥18.2 MΩ·cm(25℃)
TOC含量 ≤5 ppb
顆粒物(≥0.1μm) ≤1個/mL
產水量 0.5 m3/h - 100 m3/h(根據需求定制)
回收率 60%-85%(視原水水質)
運行壓力 RO系統:1.0-1.5 MPa;EDI系統:0.2-0.7 MPa
四、應用領域
光學行業
各種鏡片的清洗。
半導體制造:
晶圓清洗、光刻膠稀釋,要求電阻率≥18.2 MΩ·cm,TOC≤1 ppb。
生物醫藥:
注射用水(WFI)、生物制劑生產,符合GMP標準。
實驗室:
分析儀器(HPLC、ICP-MS)用水,避免背景干擾。
光伏與鋰電:
太陽能硅片清洗、電解液配制。
五、產品優勢
1、設備工藝先進,做工精巧
2、正常使用壽命長,合格率高,達到進口設備的技術水準,性價比更高。
3、我司有一支將近20年經驗的技術及售后服務團隊,從設計生產到售后服務為客戶提供專業化方案。
六、選型與維護建議
選型要點:
水質需求:半導體行業需18.2 MΩ·cm,醫藥行業可放寬至15 MΩ·cm。
產水量:根據生產線峰值用水量+20%冗余。
能耗:優先選擇高效RO膜和低能耗EDI模塊。
維護保養:
每日:檢查壓力、流量、電導率參數,記錄運行日志。
每月:清洗RO膜(化學清洗或反向沖洗),更換預處理濾芯。
每年:更換EDI模塊離子交換樹脂,校準傳感器。
七、技術發展趨勢
智能化:物聯網(IoT)實時監控水質,AI預測膜壽命。
綠色節能:開發低廢液排放工藝,提升水回收率至90%以上。
集成化:超純水設備與生產線直接耦合,減少儲水污染風險。
產品型號
設備型號 | SFCS-01T | SFCS-02T | SFCS-03T |
設備尺寸(mm)L*W*H | 2500mm*1200mm *1600mm | 3500mm*1500mm *1800mm | 4000mm*1800mm *2000mm |
出水電阻率 | ≥18MΩ.CM(25℃) | ≥18MΩ.CM(25℃) | ≥18MΩ.CM(25℃) |
產水量 | ≥1T/H,25℃ | ≥2T/H,25℃ | ≥3T/H,25℃ |
| 回收率 | ≥66% | ≥75% | 80-85% |
工作水壓 | 0.3-0.6MPa | 0.3-0.6MPa | 0.3-0.6MPa |
適用水溫 | 5~40℃ | 10~40℃ | 10~45℃ |
| 功率 | 3KW | 5KW | 7KW |
| 適用電源 | AC220V&AC380V | AC380V | AC380V 50HZ |
本設備可根據不同的產品規格、產能設計開發、生產制造。


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