拋光液攪拌桶
產品介紹
一、拋光液攪拌桶的定義與功能
拋光液攪拌桶是一種用于混合、儲存和均勻分散拋光液(CMP Slurry、金屬拋光液等)的專用設備,廣泛應用于半導體、光學、金屬加工等行業。其核心功能包括:
均勻混合:防止拋光液中的磨料顆粒(如SiO?、Al?O?)沉降或團聚。
溫度控制:維持拋光液恒溫,避免因溫度波動影響拋光效果。
防污染:確保拋光液在潔凈環境中儲存,防止異物引入。
二、設備結構與工作原理
1. 核心組件
桶體:
材質:316L不銹鋼(耐腐蝕)、PP/PTFE(防靜電、耐酸堿)。
攪拌系統:
攪拌器類型:槳葉式、錨式、螺旋式(根據粘度選擇)。
驅動電機:變頻調速(0-500 rpm),功率0.5-15 kW。
溫控系統:
加熱/冷卻夾套:通入導熱油或冷卻水,控溫范圍5℃-80℃。
溫度傳感器:PT100探頭,精度±0.5℃。
輔助系統:
液位監測:超聲波或浮球式液位計。
循環過濾:聯機過濾器(0.1-1μm精度),防止顆粒團聚。
2. 工作原理
通過電機驅動攪拌器旋轉,形成層流或湍流,使拋光液中的磨料、添加劑均勻分散。溫控系統通過夾套介質調節液溫,確?;瘜W穩定性。
三、技術參數
參數 典型值/說明
容量 50L - 5000L(可定制)
攪拌轉速 0-500 rpm(無級調速)
功率 0.5 kW(小型)- 15 kW(大型)
溫控范圍 5℃ - 80℃(精度±1℃)
接觸材質 316L不銹鋼、PP、PTFE、氟橡膠密封圈
四、應用場景
半導體制造:
CMP拋光液(化學機械拋光)的混合與存儲,要求無金屬離子污染。
光學鏡片加工:
玻璃拋光液的恒溫攪拌,防止顆粒沉降。
金屬表面處理:
電鍍液、酸洗液的循環混合,提升工藝一致性。
鋰電材料:
正極/負極漿料的分散,確保涂布均勻性。
產品優勢
1、設備工藝先進,做工精巧
2、正常使用壽命長,合格率高,達到進口設備的技術水準,性價比更高。
3、我司有一支將近20年經驗的技術及售后服務團隊,從設計生產到售后服務為客戶提供專業化方案。
五、選型與維護建議
1. 選型要點
拋光液特性:
高粘度(如鋰電漿料):選擇錨式或螺旋攪拌器。
低粘度(如CMP拋光液):槳葉式或磁力攪拌。
潔凈度要求:
半導體級:316L不銹鋼+氮氣密封+循環過濾。
工業級:PP材質+機械密封。
產能匹配:
根據產線需求選擇容量(如500L/批)。
2. 維護保養
日常維護:
每周清潔桶內壁,檢查密封圈磨損。
每月校準溫度傳感器,清理過濾器。
長期維護:
每年更換攪拌器軸承潤滑油,檢測電機絕緣性。
每2年全面檢查夾套管路,防止滲漏。
六、常見問題與解決方案
問題 原因分析 解決方案
顆粒沉降 攪拌速度不足或時間過短 提高轉速,延長攪拌時間
溫度波動大 夾套介質流量不均 檢查泵閥,調節流量
密封泄漏 密封圈老化或安裝不當 更換密封圈,重新校準軸心
電機過熱 負載過大或散熱不良 降低轉速,清理散熱風扇
七、技術發展趨勢
智能化:
集成物聯網(IoT)實時監控粘度、顆粒分布。
AI算法優化攪拌參數,自適應不同配方。
綠色化:
低能耗電機設計,減少碳足跡。
可降解材料替代傳統密封件。
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